KYBER JUPITER AMHS
铠铂木星 AMHS 产品图
从存储、搬运到人工进出站，全景呈现洁净车间自动化物料搬运系统的产品形态与协同关系。
JUPITER AMHS PRODUCT CENTER
铠铂木星 AMHS 产品体系
精准适配半导体封测全场景，更安全、更高效、更经济的自主可控搬运方案。
PRODUCT MODULE 01
Kyber AMHS 传输设备
围绕轨道车、移载、转向与垂直升降，构建半导体工厂主干物流运输能力。
PRODUCT MODULE 02
Kyber AMHS 存储设备
围绕 Stocker、缓存节点和存储协同，支撑晶圆盒在制品的有序流转。
PRODUCT MODULE 03
Kyber AMHS 控制系统
以 MCS 自动物料搬运控制系统连接调度层、控制层与设备层，实现搬运任务统一编排与执行。
SUPPORTING EQUIPMENT
周边配套硬件设备
覆盖人工进出、晶圆装载与检测、自动传输及地面智能搬运，完善 AMHS 产线末端与周边接口能力。
PRODUCT DETAIL
垂直升降设备/维修站升降设备 Vertical Transfer
系统内唯一垂直移动设备，用于 OHS 上下层转运与应急维护支撑。
垂直升降设备/维修站升降设备 VERTICAL TRANSFER
半导体产线上物料准确、安全且洁净的运输对晶圆的顺利制造至关重要，于制造厂的收益影响更是无需多言。维修站升降设备(Vertical Transfer)即为应变突发/临时性的轨道车维护而装载。
木星系列Vertical Transfer作为系统内唯一垂直移动的设备，在接收到人工/系统发出的轨道车维护或修理需求时，将天花板高度的OHS下降移动至工人所在的一层位置，供维修人员检查修护；备用或修理好的OHS则再可通过Vertical Transfer上升至吊架高度并入轨道，开始工作。
主要功能
- 垂直取送 在轨道层与地面层之间完成 OHS 或相关载具的上下转运，补齐系统垂直链路。
- 维护承接 为轨道车维修、替换和检查提供稳定支撑，减少现场临时拆装复杂度。
- 系统联动 可按人工或系统指令执行取送动作，与维护流程和调度系统形成协同。
产品优势
- 唯一垂直能力 在整套 AMHS 里承担唯一的垂直移动职责，是高空轨道系统落地的关键节点。
- 保障连续运行 当 OHS 需要下线检修或替换时，可更快恢复轨道运行与产线节拍。
- 适合洁净制造 在高洁净环境中减少人工直接干预轨道层，提高维护过程可控性。
系统角色 唯一垂直移动设备
负载 ≥15KG
噪音 ＜70DB
PRODUCT DETAIL
空中移载设备 NTB
承担高频上下料与空中移载任务，缩短机台等待时间。
空中移载设备（NTB）由平移设备、夹取机构、空中存储位及设备内部多条移动传输轨道组成。
铠铂木星 NTB 搭配 OHB，由 MCS 中控系统统一管理，与 OHS、机台 Load Port 协同完成物料缓存、取放与转运。
主要功能
- 预缓存 Pre-staging 待加工物料提前存入 OHB，机台完工后即刻自动换料，减少待料时间并提升设备稼动率。
- 智能暂存 Buffering 快速取走成品并缓存至 OHB，及时释放机台 Load Port，缓解 OHS 主线运输压力。
- 全流程自动互联 支持 E84 与 Modbus/TCP，可对接 OHS、Load Port 和 MCS，实现整线无人化流转。
产品优势
- 高洁净适配 洁净等级达到 Class 100（ISO 5 级），适配晶圆制造与先进封装等高洁净场景。
- 高频快速响应 单体载具 Load / Unload 时间与 Z 轴升降耗时均不超过 9 秒，匹配快节奏生产。
- 多重安全防护 通过防护雷达、测距传感器、三色指示灯与蜂鸣器实现入侵检测、精准定位和异常预警。
- 稳定负载与精度 额定负载 15kg，定位精度 ±1mm，兼容 FOUP、SMIF 及各类封测载具。
负载 15KG
噪音 ＜70DB
RFID 读取失败率 ＜0.005%
适配场景
- 空间适配 最小回转半径 30cm，兼容 3 米低楼层厂房，可灵活嵌入机台间隙。
- 场景覆盖 适用于 12 寸 / 8 寸晶圆制造、先进封装及硅片制造等高频换料场景。
- 自主可控 软硬协同支持 E84 快速切换，深度适配国产 Fab 产线布局。
PRODUCT DETAIL
平移设备 Horizontal Transfer
连接 OHS 与 Stocker 的关键中转设备，承担路径衔接与移载转换。
平移设备(Horizontal Transfer)是组成空中移载设备的重要元件，同时也是衔接 OHS 与 Stocker 对接环节的必备中转条件。
它帮助物料在运输主线与存储节点之间完成平稳切换，让整套系统的路径组织更加完整。
主要功能
- 横向移载 在不同节点之间完成短距离平移与衔接，帮助物料按规划路径进入下一设备。
- 连接运输与存储 作为 OHS 与 Stocker 对接的重要中转条件，补齐运输主线与缓存节点之间的接口。
- 提升系统柔性 当现场布局复杂时，平移设备能减少硬性对位限制，提升布置自由度。
产品优势
- 对接更平顺 让物料在运输与存储之间切换时更稳定，减少因节点差异带来的人工干预。
- 利于复杂布局 适合高密度工厂中局部节点的灵活衔接，增强系统部署适应性。
- 属于关键中转元件 虽然不是最长路径设备，但对整套 AMHS 的连续性与稳定性非常关键。
主要作用 OHS ↔ Stocker 中转
定位精度 < 0.5mm
通讯方式 RJ45
PRODUCT DETAIL
轨道车 OHS
承担晶圆盒在半导体厂内的主线运输，是整套 AMHS 的核心执行单元。
铠铂木星 OHS 负责半导体厂内晶圆盒的主线运输，可覆盖加工区间（Interbay）与加工区内（Intrabay）的连续搬运任务。
OHS 采用轨道上方托举式运输，与 Track、Turn Table、NTB、Vertical Transfer、Stocker、OHB 等设备协同，实现物料盒在工艺设备、缓存与存储节点之间的自动流转。
主要功能
- 全厂主线运输 承担晶圆盒在机台、缓存与存储节点之间的连续搬运，减少人工接触与中转等待。
- 跨区域连续流转 同时覆盖 Interbay 与 Intrabay 场景，支持物料在不同工艺区域与设备节点间自动衔接。
- 全系列设备联动 与 Track、Turn Table、NTB、Vertical Transfer、Stocker 和 OHB 协同，构建完整运输闭环。
产品优势
- 托举式稳定运输 轨道车在轨道上方托举载具运行，提升运输过程的稳定性与安全性。
- 轻量灵活部署 单轨与轻量化设计降低轨道及吊装负担，便于复杂车间布局、扩展与维护。
- 高洁净连续运行 围绕 Class 100 洁净环境设计，适合半导体产线长周期、高频次物料搬运。
- 多重运行防护 结合通讯交握、距离检测与运行状态监控，降低碰撞与异常停机风险。
负载 ≥15KG
运载方式 托举式
速度 ≥1.5m/S
洁净度标准 Class 100
PRODUCT DETAIL
旋转平台 Turn Table
为轨道车提供灵活变向能力，是复杂布局下的关键转向节点。
旋转平台 TURN TABLE
旋转平台为轨道车在轨道上的行驶提供可灵活变向的功能
木星系列Turn Table中央转台上的转移轨道根据路径规划及OHS转向计划主动变向,且与厂内主轨道高精度接壤镶嵌。为晶圆制造厂内繁琐的加工流程和复杂的设备布局提供了颠覆性却灵活轻量的轨道设计条件。
主要功能
- 主动转向 中央转台轨道可依据 OHS 转向计划主动变向，完成多方向路径切换。
- 高精度接驳 与厂内主轨道高精度接壤镶嵌，确保轨道车通过过程稳定顺畅。
- 支撑灵活布置 在复杂工艺流程与设备排布下提供更灵活轻量的轨道组织条件。
产品优势
- 减少掉头与拥堵 通过灵活变向降低无效路线和回转长度，缓解高密度场景下的拥堵。
- 适合多进多出 可支持更复杂的轨道进出关系，增强局部节点吞吐能力。
- 提高设计自由度 让轨道规划不再依赖单一路径，便于应对机台布局变化。
进出能力 最高 4 进 4 出
定位精度 < 0.5mm
洁净等级 Class 100
PRODUCT DETAIL
手动进出设备 LPS
用于配合半导体制造工厂自动化物料搬运系统，作为 OHT 的地面停靠站点，可从 OHT 手动上下物料。
LPS 为人工操作与自动化搬运系统提供标准化物料交接入口，适用于人工上下料和异常处理场景。
主要功能
- 支持 SECS/GEM 与厂内 EAP 或 MCS 对接
- 支持 E84 协议
- 自带 RFID 读取功能
- 自带光栅防护
- 单/双 Port 选型
- 支持客制化
产品优势
- 兼容现场复杂度 面对并非完全自动化的车间现实，LPS 能显著提高方案可落地性。
- 减少非计划停顿 当临时人工介入不可避免时，能更平顺地维持物料流转。
- 信息不脱节 人工动作仍可被纳入系统边界和流程认知中，而不是脱离 AMHS 之外。
PRODUCT DETAIL
晶圆装载与检测集成装置 Wafer SMIF
一站式 SMIF 解决方案，可根据客户要求定制特殊型号。
可选配 RFID 阅读器或 E84 功能，满足晶圆装载、检测与洁净环境下的集成需求。
主要功能
- 循环时间小于 90 秒，提升产能
- 占地面积小，节省车间空间
- 超薄末端执行器，满足特殊要求
- 装载高度可调整，符合人体工学设计
- 微环境室与洁净空气流动系统，保持 Class 1 洁净度
产品优势
- 提升洁净流程连续性 减少载具切换和手工处理中断，保持晶圆盒在洁净环境中的稳定流转。
- 利于工艺适配 面向特定尺寸和工艺要求的物料管理需求，增强整套 AMHS 的行业适配性。
- 支撑标准化扩展 为后续更多尺寸与载具类型扩展打下结构基础。
PRODUCT DETAIL
晶圆自动传输系统 Sorter / EFEM
经过现场验证的高通量、可靠分选系统，在价格与性能之间保持竞争力。
统一的 Sorter 框架支持 200mm 和 300mm 应用，可按产线需求灵活配置端口、机器人与识别系统。
主要功能
- ISO 3 洁净等级
- ID 读取系统符合 SEMI M12、M1.15
- 单臂与双臂机器人灵活配置
- 支持双端口、三端口与四端口配置
- 可选 RFID、智能标签及条形码批次跟踪系统
- 可选 200/300mm 晶圆混合分选系统
- 可选 UPS 与 RAID-5 数据库保护
- 300mm 输送设备满足 SEMI 标准，包括 E84、E47.1、F47
产品优势
- 提高设备接入效率 让机台前端的物料交接更标准，减少非结构化处理。
- 利于复杂工艺衔接 在多工艺、多设备场景下保持更顺畅的上料与前处理节奏。
- 增强整套方案完整度 让 AMHS 不止覆盖主线运输，也覆盖实际工艺接驳现场。
PRODUCT DETAIL
智能搬运机器人 AGV / AMR
通过 SLAM 激光导航、无线通讯与精准抓取机构，补充产线地面智能搬运能力。
支持无轨自由导航和自定义地图导航，适配不同载具与复杂产线环境。
主要功能
- 灵敏的 SLAM 激光导航设计和无线通讯控制系统
- 无轨自由导航和自定义地图导航
- 人形手臂配合精准定位抓取机构
- 占用更小的通道宽度与安全手臂运行范围
- 可视化操作屏与通用调度软件
- 多载具车身与多种防碰撞安全保护
- 可选 8 至 12 英寸标准载具
- 可选载具批号 ID 读取装置及多种充电方式
产品优势
- 整厂覆盖更完整 把工厂内不同环境和区域的物流方式串联起来，而不是只优化单一主线。
- 扩展方式更灵活 适合分阶段建设和局部补强，减少一次性重构压力。
- 便于混合部署 支持空中搬运与地面搬运组合，满足更复杂的场景现实。
PRODUCT DETAIL
自动化立库 Stocker
承担晶圆盒自动化存储、夹取和中转，是在制品缓冲体系的核心节点。
自动存储立库 STOCKER
用于半导体领域洁净制造的晶圆盒自动化载具存储、夹取、中转。
木星系列Stocker不仅完善晶圆制造厂内的物料存放仓储设备，Stocker自动且即时地与木星自研MCS中控系统交互，高效地追踪、更新物料信息、位置，保障最大化厂内库存，实现跨工艺级别的物料管理监控。
主要功能
- 自动存储与夹取 面向半导体晶圆盒提供自动存储、夹取和中转能力，减少人工介入。
- 与 MCS 实时交互 自动追踪、更新物料信息与位置，为库存与工艺节点管理提供实时基础。
- 跨工艺管理支撑 不仅存放物料，也支撑跨工艺级别的物料调度与监控。
产品优势
- 库存更透明 把载具位置、储位占用和调用状态纳入系统闭环，便于快速决策。
- 节拍缓冲更稳定 在前后工序节拍不完全一致时，帮助产线保持连续运转。
- 适配洁净制造 围绕半导体洁净环境与载具管理要求进行设计，更贴近行业场景。
单座容量 最高 120 工位
平均取 / 存 约 30 秒
洁净等级 Class 100
PRODUCT DETAIL
KYBER MCS 自动物料搬运控制系统
MCS 用于管理和控制半导体制造过程中的材料流动和处理，确保材料在不同制造阶段之间高效、准确和安全地传输。
MCS 完善晶圆制造厂的智慧物料运输，与 MES 系统实时交互，接收并执行其下发的搬运指令。
铠铂木星系列自动物料搬运软件采用按实际设备配置拆分的子系统模块化开发，分别支持 Stocker、Air Track、Air Loader 等设备的 MCS 子系统调度。
主要功能
- 自动化物料运输 MCS 自动控制晶圆材料在制造设备之间的运输，减少人工干预，降低错误率。
- 实时监控与追踪 实时监控材料的位置和状态，确保每个制造阶段的材料处于最佳状态，并追踪材料历史记录。
- 缓存管理 管理原材料和半成品缓存，确保材料及时供应，避免生产中断。
- 流程优化 通过数据分析和流程监控识别并消除瓶颈，优化制造流程，提高整体生产效率。
产品优势
- 提高生产效率 自动化物料处理和运输系统能够显著提高生产效率，缩短制造周期。
- 降低成本与耗损 减少对人工操作的依赖，降低人力成本和材料损耗。
- 灵活性和可扩展性 灵活适应不同生产需求，并易于扩展以应对未来产能增长。
调度层能力 地图监控 / 搬运管理 / 路径规划
控制层系统 OHS / NTBC / STKC
设备层对象 OHS / NTB / Stocker
TECH HIGHLIGHTS
技术亮点
围绕洁净环境、高精度搬运、智能调度与高可靠运行，强化 AMHS 在半导体制造场景中的实际价值。
高洁净环境适配
围绕 Class 100 场景设计关键设备与搬运链路，适用于半导体洁净制造环境。
高精度搬运
通过轨道车、转台与对位结构实现亚毫米级定位，提高取放货稳定性。
智能调度算法
以 MCS 的最短路径与最近车辆策略提升运输效率，降低设备等待时间。
高可靠性设计
从 UP Time、MTBF 到异常切离和安全防护，强化系统持续运行能力。
老厂改造友好
较低层高要求、轻量化轨道车和灵活布局方式适合存量厂房升级。
国产替代空间明确
结合自研 AMHS + CIM 能力，在晶圆厂自动化物流领域具备差异化价值。
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