JUPITER AMHS SUPPORTING EQUIPMENT
周边配套硬件设备
覆盖人工进出、晶圆装载与检测、自动传输及地面智能搬运，完善 AMHS 产线末端与周边接口能力。
配套硬件设备不是边角补充，而是让 AMHS 与设备、人员、站点和辅助物流系统真正打通的关键接口层。
它们承接人工进出、晶圆盒兼容、前后段设备对接与局部补充搬运，是整套系统完整性的重要组成。
- 补足现场接口 把人工进出、载具切换、前后段设备对接等动作纳入可设计的系统结构中。
- 兼顾自动化与人工 支持系统在全自动与半自动、人工处理场景之间平稳切换。
- 扩展整厂覆盖 为 AMHS 之外的局部物流与设备形态提供补充，使整体方案更完整。
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