AMHS MODULE
存储设备
围绕 Stocker、Air Loader 与空中缓存建立稳定的在制品缓冲体系。
存储设备负责承接晶圆盒的暂存、转序和等待调度，是 AMHS 中保障 WIP 有序流转和避免机台空等的重要一环。
在制品缓存SMIF 晶圆盒存储设备前后等待区楼层 / 区域缓冲
PRODUCT INTRO
产品介绍
存储设备负责承接晶圆盒的暂存、转序和等待调度，是 AMHS 中保障 WIP 有序流转和避免机台空等的重要一环。
适用于设备前后缓存、楼层间缓冲、站点间等待与高密度储位管理。
APPLICATION SCENES
应用场景
在制品缓存SMIF 晶圆盒存储设备前后等待区楼层 / 区域缓冲
FUNCTIONS
产品功能
围绕 存储设备 的核心职责，按设备执行、系统协同与运行维护三类能力组织关键功能。
高密度储位管理
通过 Stocker 与空中缓存组合承接不同工艺段的物料等待与排队需求。
自动装载与卸载
Air Loader 等装置支持自动上下料，减少人工参与并提升设备可用率。
状态记录与联动
存储设备实时记录储位占用、任务流向和设备状态，向 MCS 回传可视化数据。
ADVANTAGES
产品优势
从技术成熟度、半导体适配性与后续扩展空间三个维度，帮助客户快速判断方案价值。
平衡设备节拍
通过缓存与储位系统吸收节拍波动，减少前后工序之间的等待和堵塞。
支持多运输工具对接
适配 OHS、人工进出站与其他运输节点的组合，便于构成统一物料闭环。
利于安全隔离
人机分离、维修门互锁与储位状态管理让高洁净环境下的作业更可控。
KEY DATA
关键指标
把客户最关注的性能与交付参数，浓缩成更易于比较和沟通的结构化信息。
CONTACT & CONVERSION
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