AMHS MODULE

传输设备

以轨道车、轨道 / 吊架、转台与平移机构构成主干运输能力。

传输设备承担机台与缓存之间的主线搬运任务,是 AMHS 中最直接影响节拍、通行效率和现场维护体验的部分。

主干通道运输转向与换轨跨 Bay 连续搬运高频设备对接

PRODUCT INTRO

产品介绍

传输设备承担机台与缓存之间的主线搬运任务,是 AMHS 中最直接影响节拍、通行效率和现场维护体验的部分。

适用于晶圆盒在设备、转台、Stocker 与空中轨道之间的连续运输。

APPLICATION SCENES

应用场景

主干通道运输转向与换轨跨 Bay 连续搬运高频设备对接

FUNCTIONS

产品功能

围绕 传输设备 的核心职责,按设备执行、系统协同与运行维护三类能力组织关键功能。

轨道车运输

轻量化轨道车负责 FOUP 等物料单元的空中搬运,兼顾速度、定位与洁净控制。

轨道与吊架系统

支持单轨、双轨及多种弯轨、吊架组合,满足不同厂房结构与运输半径要求。

转台与平移

通过转台与平移机构实现路径切换、方向变换与局部绕行,提高调度灵活性。

ADVANTAGES

产品优势

从技术成熟度、半导体适配性与后续扩展空间三个维度,帮助客户快速判断方案价值。

轻量化与易维护

轨道车重量约 9.5kg,维护更轻便,降低后期人工与辅助设备投入。

路径组织更高效

支持 360 度转向、小半径弯轨和路径切换,减少长距离掉头和拥堵风险。

高精度定位

定位精度可控制在亚毫米级范围,满足对接设备时的稳定取放要求。

KEY DATA

关键指标

把客户最关注的性能与交付参数,浓缩成更易于比较和沟通的结构化信息。

9.5kg 轨道车重量
1.8m/s 最大速度
< 0.5mm 定位精度
轨道车负载 15kg
轨道洁净等级 Class 100
转台通讯方式 RJ45

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